报告期内，路维光电实现归母净利润4915.01万元，同比增长 20%，增速低于营业收入，主要是受汇兑损益影响，同期来看去年的一季度和四季度都是汇兑收益。若剔除汇兑损益影响，公司一季度归母净利润增速高于营业收入增速。实现扣非净利润为4483.41万元，同比增长19.90%。
2024 年路维光电“高精度半导体掩膜版与大尺寸平板显示掩膜版扩产”等项目投产后，产能迅速爬坡释放，为公司贡献了可观的营业收入和利润总额。公司可转换公司债券项目中的“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”，已就新增的 2 条半导体掩膜版生产线和 2 条高精度平板显示掩膜版生产线之关键设备完成主要设备合同谈判和签署；该项目产品涵盖 250nm-130nm 半导体掩膜版和 G8.6 及以下高精度 a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO 等平板显示掩膜版产品,预计在2025 年完成新增产线建设并逐步释放产能。
路维光电投资建设的路芯半导体 130-28nm 半导体掩膜版项目已于2024 年 6 月完成主厂房封顶，并于 2024 年第四季度开始陆续搬入设备，其制程节点布局居于国内厂商前列。该项目总投资规划 20 亿元，一期计划投资 14-16 亿元，产品覆盖 130-40nm 制程节点半导体掩膜版，一期在 2025 年上半年送样 90-100nm 制程节点半导体掩膜版，2025 年下半年试产 40nm 制程节点半导体掩膜版产品，有望在 2025年完成投产并贡献部分收入，在 2026 年进一步放量；二期计划投资4-6 亿元用于 40-28nm 制程节点半导体掩膜版产线建设，预计将于2026-2027 年推进建设，建设周期在 2 年以内，具体项目推进情况可能因市场需求或实际情况提前或延后。
为进一步扩充公司高世代高精度掩膜版的产能，路维光电计划在厦门市投资 20 亿元，建设“厦门路维光电高世代高精度光掩膜版生产基地项目”，主要生产 G8.6 及以下的 AMOLED 等高精度光掩膜版产品，项目 2026 年有望开始贡献收入。